Linie pilot pentru circuite integrate semiconductoare cu noduri electronice de 3 nm- PIN3S
POC · Universitatea Politehnică Bucureşti · raportare la 31 august 2025
Bucuresti, Bucuresti · MySMIS 135127
Beneficiar: Universitatea Politehnică Bucureşti.
Obiectivul general al prezentului proiect (PIn3S), acceptat la finantare in cadrul ECSEL Joint Undertaking este realizarea unei linii Pilot pentru circuite integrate semiconductoare cu noduri electronice de 3nm. Aceast lucru implica dezvoltarea si integrarea cu succes a modulelor de procesare la un nivel ridicat, dezvoltarea unei tehnologii adecvate de modelare si a capacitaþilor de metrologie. In plus, PIn3S isi propune sa completeze infrastructura Masca EUV prin dezvoltarea echipamentelor de reparare a mastilor pentru a permite crearea unei masti eficiente din punct de vedere al costurilor pentru nodul de 3nm si nu numai.
- Început
- 2020-04-03
- Finalizare planificată
- 2023-04-30
- Valoare eligibilă
- 4.800.000 lei